+420 602 325 829 / info@nicoletcz.cz

Nicolet ECO: Analýza křemíku

ECO--468x405 (1)

Nicolet ECO: Analýza křemíku

Jedinečný, speciálně vyvinutý systém pro analýzu křemíkových komponent. Kompletní automatizace samozřejmostí!

FT-IR spektrometry s nástavcem pro analýzu křemíkových součástek

Optika spektrometru je optimalizována pro analýzu křemíkových komponent. Měření spekter je možné v reflexním i transmisním módu.

Infračervený spektrometr řady 6700 s nástavcem pro měření Si součástek

Doporučeno nejen pro následující aplikace:

  • Obsah uhlíku a kyslíku v silikonu – procesní kontrola ve fotovoltaickém průmyslu
  • Obsah intersticiálního uhlíku a kyslíku v plátcích křemíku (podporuje SEMI, ASTM, JEIDA a DIN metodiku)
  • Koncentrace dopantu v dielektrických filmech (BPSG, PSG, FSG, etc.)
  • Obsah vodíku v tenkých vrstvách (filmech) silikon nitridů (SiN, SiON)
  • Tloušťka vrstvy Epitaxialu
  • MEMS, SOI, polysilikon a III – V tenké filmy
  • A mnohé další

Systém lze sestavit speciálně pro Vaše požadavky, a to nově na bázi FT-IR spektrometru Nicolet iS20 nebo spektrometrů řady iS50 (kombinace s Ramanovou spektroskopií!).

Sledujte nás

Nicolet CZ © 2021 - Všechna práva vyhrazena

Poptávka produktu

Ozveme se vám co nejdříve.