Nicolet ECO – Analýza křemíku

Nicolet ECO – Analýza křemíku

Jedinečný, speciálně vyvinutý systém pro analýzu křemíkových komponent. Kompletní automatizace samozřejmostí!


Optika spektrometru je optimalizována pro analýzu křemíkových komponent. Měření spekter je možné v reflexním i transmisním módu.

x700

Infračervený spektrometr řady 6700 s nástavcem pro měření Si součástek

Doporučeno nejen pro následující aplikace:

  • Obsah uhlíku a kyslíku v silikonu – procesní kontrola ve fotovoltaickém průmyslu
  • Obsah intersticiálního uhlíku a kyslíku v plátcích křemíku (podporuje SEMI, ASTM, JEIDA a DIN metodiku)
  • Koncentrace dopantu v dielektrických filmech (BPSG, PSG, FSG, etc.)
  • Obsah vodíku v tenkých vrstvách (filmech) silikon nitridů (SiN, SiON)
  • Tloušťka vrstvy Epitaxialu
  • MEMS, SOI, polysilikon a III – V tenké filmy

Systém lze sestavit speciálně pro Vaše požadavky, a to nově na bázi FT-IR spektrometru Nicolet iS20 nebo spektrometrů řady iS50 (kombinace s Ramanovou spektroskopií!).