Optika spektrometru je optimalizována pro analýzu křemíkových komponent. Měření spekter je možné v reflexním i transmisním módu.

Infračervený spektrometr řady 6700 s nástavcem pro měření Si součástek

Doporučeno nejen pro následující aplikace:

• Obsah uhlíku a kyslíku v silikonu – procesní kontrola ve fotovoltaickém průmyslu
• Obsah intersticiálního uhlíku a kyslíku v plátcích křemíku (podporuje SEMI, ASTM, JEIDA a DIN metodiku)
• Koncentrace dopantu v dielektrických filmech (BPSG, PSG, FSG, etc.)
• Obsah vodíku v tenkých vrstvách (filmech) silikon nitridů (SiN, SiON)
• Tloušťka vrstvy Epitaxialu
• MEMS, SOI, polysilikon a III – V tenké filmy
• A mnohé další

Systém lze sestavit speciálně pro Vaše požadavky, a to nově na bázi FT-IR spektrometru Nicolet iS20 nebo spektrometrů řady iS50 (kombinace s Ramanovou spektroskopií!).