+420 602 325 829 / info@nicoletcz.cz

Mapování lokální vodivosti v polovodičových součástkách

  • Popis aplikace
  • Řada neaSCOPE

Mikroskopy řady neaSCOPE v terahertzovém režimu umožňují mimo jiné zkoumat místní vodivost tranzistorových součástek. V tomto spektrálním regionu je spektroskopie blízkého pole (SNOM) citlivá na koncentrace volného nosiče v rozmezí 10^16-10^19cm^-3. Koncentrace volného nosiče v rozsahu mezi 1019 a 1020 cm-3 mohou být analyzovány pomocí infračerveného záření ve střední oblasti (vlnová délka mezi 9 - 11 µm).

Analýza lokální vodivosti v polovodičových součástkách: TEM snímek a měření amplitudy v blízkém poli

 

Data naměřená za použití vlnové délky 118 µm (2,54 THz) vykazují vysoký signál (zobrazený červeně) pro kovové součásti ve středu snímku. Si substrát také vykazuje výrazné změny signálu, které souvisí se změnou koncentrace volného nosiče v substrátu. Kontrolní měření při vlnové délce 11 µm ověřuje, že změny THz signálu v oblasti Si skutečně pocházejí z variací koncentrace volného nosiče. Zobrazování THz blízkého pole jednoho tranzistorového zařízení při frekvenci 2,54 THz opět poskytuje vysoký signál (zobrazený červeně) ve vysoce vodivých oblastech vzorku. Zejména struktury vzorků hradla, zdroje a kontaktů kolektoru vykazují vyšší signál v THz obrazu ve srovnání se substrátem Si. Oblast kanálu má střední úroveň signálu, protože koncentrace volných nosičů není tak vysoká jako u kontaktů. Snímek pořízený při osvětlení zářením ze střední infračervené oblasti postrádá citlivost na takové koncentrace volných nosičů a zvýrazňuje pouze kovové součásti tranzistoru.

O téhle i dalších aplikacích se více dozvíte zde.

IR-neaSCOPE+s umožňuje IR imaging a nano-FTIR spektroskopii pomocí detekce záření odraženého od standardního AFM hrotu. Jedná se o univerzální řešení pro všechny typy materiálů. Měří simultánně absorpci i odražené záření a používá nejrychlejší a nejspolehlivější moduly pro nano-imaging a nano-spektroskopii.
IR-neaSCOPE+fs je navržený pro pump-probe spektroskopii s 10fs časovým a 10nm prostorovým rozlišením: umožňuje ultrarychlou vědu v nanoměřítku.
THz-neaSCOPE+s je všestranná platforma pro nano-imaging a spektroskopii v terahertzové (THz) oblasti.
IR-neaSCOPE+TERs je revolucí v nano-spektroskopii díky kombinaci techniky nano-FTIR a Ramanovy spektroskopie, čímž poskytuje kompletní spektrální analýzu.
cryo-neaSCOPE+xs je průkopnický přístroj pro optický imaging a spektroskopii v nanoměřítku v extrémním kryogenním prostředí.

Nicolet CZ © 2021 - Všechna práva vyhrazena

Ze světa molekulové spektroskopie už vám nic neuteče!

Přihlaste se k odběru našeho newsletteru

Přihláška
na školení

Těšíme se na vás!

Kontaktní formulář

Vyplňte prosím Vaše údaje a my se Vám
co nejdříve ozveme.