+420 602 325 829 / info@nicoletcz.cz

Identifikace materiálů v polovodičových součástkách

  • Popis aplikace
  • Řada neaSCOPE

Materiály aktivní v infračervené oblasti používané v polovodičových zařízeních mají v blízkém poli charakteristická spektra, která umožňující jejich přímočarou identifikaci pomocí mikroskopů řady neaSCOPE. SEM snímek zkušební struktury tranzistoru (šedý) odhaluje různé materiály a zvýrazňuje rozhraní mezi nimi díky aplikovanému dekoračnímu leptu. Je zde jasně vidět sedm jednotlivých tranzistorů. Topografický snímek příčného řezu vzorku vykazuje plochý povrch (výsledek procesu leštění vzorku). Snímek amplitudy blízkého pole (barevně) odhaluje vysoký signál pro kovové součásti, středně silný signál pro substrát Si a nízký signál pro izolační SiO.

Detailní analýza polovodičové součástky: SEM snímek, topografie a amplituda v blízkém poli

 

Měření jednoho tranzistoru ve vyšším rozlišení demonstruje schopnosti mikroskopů neaSCOPE analyzovat jedinou součástku. V závislosti na laserové frekvenci použité pro zobrazování v blízkém poli lze zvýraznit SiN nebo SiO části tranzistoru, jak je vidět na jednotlivých snímcích. Závislost kontrastů na frekvenci lze vysvětlit materiálově specifickými rezonancemi blízkého pole, což umožňuje identifikaci materiálů. Vysoká citlivost rezonancí v blízkém poli na dielektrické vlastnosti materiálů umožňuje podrobně analyzovat součásti zařízení.

IR-neaSCOPE+s umožňuje IR imaging a nano-FTIR spektroskopii pomocí detekce záření odraženého od standardního AFM hrotu. Jedná se o univerzální řešení pro všechny typy materiálů. Měří simultánně absorpci i odražené záření a používá nejrychlejší a nejspolehlivější moduly pro nano-imaging a nano-spektroskopii.
IR-neaSCOPE+fs je navržený pro pump-probe spektroskopii s 10fs časovým a 10nm prostorovým rozlišením: umožňuje ultrarychlou vědu v nanoměřítku.
THz-neaSCOPE+s je všestranná platforma pro nano-imaging a spektroskopii v terahertzové (THz) oblasti.
IR-neaSCOPE+TERs je revolucí v nano-spektroskopii díky kombinaci techniky nano-FTIR a Ramanovy spektroskopie, čímž poskytuje kompletní spektrální analýzu.
cryo-neaSCOPE+xs je průkopnický přístroj pro optický imaging a spektroskopii v nanoměřítku v extrémním kryogenním prostředí.

Nicolet CZ © 2021 - Všechna práva vyhrazena

Ze světa molekulové spektroskopie už vám nic neuteče!

Přihlaste se k odběru našeho newsletteru

Přihláška
na školení

Těšíme se na vás!

Kontaktní formulář

Vyplňte prosím Vaše údaje a my se Vám
co nejdříve ozveme.